七星电子参加2015 SEMI展 12英寸集成电路设备受关注

　　近日，七星电子参加了第27届全球最大半导体旗舰展览会——SEMICON CHINA 2015。该展会由国际半导体设备与材料协会（SEMI）和中国电子商会（CECC）共同主办，是一场包揽全球领先半导体制造技术的盛会，代表了全球半导体行业的领先水平。 　　在这次展会上，七星电子以12英寸集成电路专用设备为主导，系统展示了应用于半导体、光伏、LED等领域的系列产品，包括扩散/氧化/退火系统、化学气相沉积系统、清洗系统及干法刻蚀系统等系列产品，以及晶硅电池整线自动化解决方案。 　　其中，应用于集成电路行业的300mm/200mm立式氧化炉、300mm/200mm LPCVD、300mm/200mm单片清洗机、300mm堆叠式单片清洗机，以及适用于300mm半导体集成电路装备制造的质量流量控制器等产品，引起了与会者的浓厚兴趣，并受到业界广泛关注。 　　值得关注的是，近期七星电子与上海华力微电子有限公司签订了2台12英寸立式氧化炉供销合同，用于其55纳米集成电路生产线。这一成果标志着七星电子12英寸集成电路立式氧化炉实现产业化。该消息在展会前得到相关媒体的热烈关注，在本次展会上也成为业内关注的焦点。展会期间，咨询和交流人数相对往年明显增多。 　　另外，在展会同期举办的SEMI中国光伏标准技术委员会2015年度春季会议上，七星电子提交的《用于规范负压卧式扩散炉的指南》标准提案，顺利通过大会委员的评审，正式立项。 　　展会期间，“02专项”专家组专家、北京电控董事长王岩、七星电子董事长王彦伶等多位领导也莅临展会参观指导。

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